步距规测量过程和测量不确定度

来源: 时间:2019-03-30 11:51:48 次数:

(1)单独使用坐标机的测量过程和测量不确定度 将步距规沿坐标机长轴放置,适当卡紧。以步距规基面定位块的一个平面、基体的一个侧面和步距规上部任意一点为元素,在步距规上建立三维笛卡儿坐标系。坐标机接触式测头对步距规上的量块工作面进行测量,每个平面测5点,计算机计算出量块平面之间的距离和平面之间的平行性,量块之间的距离和平行性是评价步距规的两个指标参数。这种测量方法的测量不确定度主要有坐标机的长度测量示值误差、温度传感器的精度、环境条件等因素,这种方法的总测量不确定度约为:U=(0.6+ L/600)μm,K= 2。 (2)结合使用坐标机和激光干涉仪的测量过程和测量不确定度 将激光干涉仪的反射镜和步距规装卡在坐标机移动工作台上,调整光路,使激光光路与工作台的移动方向平行。Leitz坐标测量机的测头有一个特性,就是可以在锁紧按钮时,以一个恒定的偏移靠在被测物体表面,步距规的校准就是利用坐标测量机的这个特性,依次将测头靠在步距规量块的指定测量点上,读入激光干涉仪的示值,换句话说就是,使用坐标测量机对步距规的每个测量面进行瞄准,通过激光干涉仪的指示值进行示值测量。为了提高测量 陶瓷测量
测量过程和测量不确定度:
(1)单独使用坐标机的测量过程和测量不确定度
将步距规沿坐标机长轴放置,适当卡紧。以步距规基面定位块的一个平面、基体的一个侧面和步距规上部任意一点为元素,在步距规上建立三维笛卡儿坐标系。坐标机接触式测头对步距规上的量块工作面进行测量,每个平面测5点,计算机计算出量块平面之间的距离和平面之间的平行性,量块之间的距离和平行性是评价步距规的两个指标参数。这种测量方法的测量不确定度主要有坐标机的长度测量示值误差、温度传感器的精度、环境条件等因素,这种方法的总测量不确定度约为:U=(0.6+ L/600)μm,K= 2。


(2)结合使用坐标机和激光干涉仪的测量过程和测量不确定度

将激光干涉仪的反射镜和步距规装卡在坐标机移动工作台上,调整光路,使激光光路与工作台的移动方向平行。Leitz坐标测量机的测头有一个特性,就是可以在锁紧按钮时,以一个恒定的偏移靠在被测物体表面,步距规的校准就是利用坐标测量机的这个特性,依次将测头靠在步距规量块的指定测量点上,读入激光干涉仪的示值,换句话说就是,使用坐标测量机对步距规的每个测量面进行瞄准,通过激光干涉仪的指示值进行示值测量。为了提高测量陶瓷测量。


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